對于鈮酸鋰晶體的清潔，可以采用以下步驟：

　　準備實驗儀器及清洗劑，如兩個清洗干凈的燒杯、四氟樣品架、濃硫酸$(H_{2}SO_{4},98%)、雙氧水、雙氧水(H_{2}O_{2},30%)$、工業用肥皂水、去離子水、氨水(NH4OH,25%)等。

　　將樣品放入樣品架上，利用燒杯1，丙酮超聲5分鐘，去離子水沖干凈，氮氣吹干，此步驟重復兩次。

　　換用燒杯2，H_{2}SO_{4}(98\%):H_{2}O_{2}(30\%)=9:1H2?SO4?(98%):H2?O2?(30%)=9:1超聲20分鐘（這期間用去離子水清洗燒杯1），去離子水沖干凈，此時應觀察到襯底表面均勻覆蓋水膜，氮氣吹干。

　　換用燒杯1，工業用肥皂水(50-60度)，超聲10分鐘，去離子水沖干凈。

　　根據實際情況可選用酒精進行清洗。

　　在清潔過程中應注意安全，穿戴實驗服和護目鏡。同時，應遵循先凈后濃的原則，先用去離子水沖掉前一步的酸或堿，再用酸或堿浸泡晶體。此外，還應注意清潔劑的濃度和清潔時間。